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省エネ
業(yè)種?工程別
結(jié)晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
用途別
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反射防止膜形成
2
反射防止膜をシリコン表面に形成。
クリーン
駆動(dòng)機(jī)器
溫度コントロール
耐食
低真空
省配線
高真空
センサ（検出）
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