10-6 Paの高真空で使用可能。
真空チャンバの排気系、供給系、仕切系で使用のバルブ。
排気系
| ?アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series |
| ?アルミ製ワンタッチ著脫高真空L 型バルブ | XLAQ?XLDQ Series |
| ?ステンレス製高真空L 型／ストレート型バルブ | XM/XY Series |
供給系
| ?高真空ストレート電磁弁 | XSA Series |
| ?スムーズべントバルブ | XVD Series |
仕切系
| ?300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ | XGTP Series |
| ?スリットバルブ | XGT Series |
| ?ドアバルブ（オーダーメイド） | ※詳細(xì)はお問合せください。 |
駆動系
| ?真空ロッドレスシリンダ | CYV Series |
