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太陽電池製造工程向機器

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高真空

アルミ製ワンタッチ著脫高真空L型バルブ XLAQ?XLDQ

高真空機器 ? 高真空バルブ

?ワンタッチ著脫（工具レス）

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CAD

安全上のご注意　システム構成図/各ライン?機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	軸シール方式	弁形式	材質	フランジサイズ
XLAQ	エアオペレート	ベローズシール	単動（N.C.）	ボディ：アルミベローズ：SUS316L	16～50
XLDQ	エアオペレート	ベローズシール Oリングシール	単動（N.C.）	ボディ：アルミベローズ：SUS316L	40，50

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