|6. 塗布
用途に応じ各種溶剤を塗布。
酸、アルカリ各種薬液雰囲気
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 耐食性向上 | 薬液用エアオペレートバルブ | LV |
| フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング | LQ1 | |
| フッ素樹脂製管継手フレアタイプ | LQ3 | |
| ステンレスシリンダ | CJ5?S / CG5?S | |
| フローティングジョイント（ステンレス） | JS | |
| SUS316ワンタッチ管継手 | KQG | |
| SUS316インサート管継手 | KFG | |
| ステンレススピードコントローラ | ASG | |
| FEPチューブ | TH / TIH | |
| フッ素樹脂製チューブ | TL / TIL |
溶剤の移送
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 防爆用機器 | 本質(zhì)安全防爆形5ポートソレノイドバルブ | 51-SY |
| 耐圧防爆形ソレノイドバルブ | 50-VFE / VPE | |
| ※5ポートソレノイドバルブ | SY | |
| ※5ポートソレノイドバルブ | VQC | |
| ダイヤフラム式ポンプ | プロセスポンプ／フッ素樹脂タイプ | PA/PAP |
| プロセスポンプ | PAF |
※防爆仕様ではありません。非防爆エリアにて使用してください。
調(diào)送液制御
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 省配線システム | シリアル伝送システム | EX120 |
| シリアル伝送システム | EX510 | |
| SUPストップ弁付マニホールド | SS5Y□-X460 | |
| 防爆用機器 | 本質(zhì)安全防爆形5ポートソレノイドバルブ | 51-SY |
| 耐圧防爆形ソレノイドバルブ | 50-VFE/VPE |
選定のポイントと注意
?電磁弁を長時間通電狀態(tài)で使用される場合は低消費電力タイプの電磁弁をご使用ください。
?溶剤系雰囲気で使用される場合は、製品品質(zhì)に影響を及ぼす可能性がありますので、機器仕様、材質(zhì)にご注意ください。
?高溫、溶剤雰囲気等で使用される場合、製品仕様（使用溫度、材質(zhì)等）をご確認のうえ選定ください。
?SUPストップ弁付マニホールドの使用により、ライン全體を停止をさせることなく部分的な機器の交換が可能であり、再稼動のスピード化が図ることができます。
?防爆エリアでご使用の場合は防爆用機器をご選定ください。
?クリーン環(huán)境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。
薬液の溫度／流量管理
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 溫度コントロール | サーモチラー（スタンダードタイプ） | HRS |
| サーモチラー 恒溫液循環(huán)裝置（高機能タイプ） | HRZ | |
| フロースイッチ | PFM / PF2A / PF3A7□H / PF3W |
選定のポイントと注意
?ロール?溶剤を一定溫度にコントロールすることで安定した均一な塗布を可能にします。チラーにより高精度な溫調(diào)が可能です。
オゾン対策
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 耐オゾン性向上 | オゾン対策機器 |
脫気処理
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 高真空バルブ | ステンレス製高真空L型バルブ | XM |
| ステンレス製高真空ストレート型バルブ | XY | |
| 常時閉型高真空電磁弁 | XSA |
クリーンルーム仕様
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| クリーンルーム用 空気圧機器 |
クリーンシリーズ | クリーンシリーズ |
異物付著防止／品質(zhì)向上
| 用途 | 品名 | シリーズ |
|---|---|---|
| 靜電気対策 | イオナイザ | IZS 40 / 41 / 42 |
| クリーンブロー | クリーンエアモジュール | LLB |
