|6. 塗布
用途に応じ各種溶剤を塗布。
酸、アルカリ各種薬液雰囲気
用途 | 品名 | シリーズ |
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耐食性向上 | 薬液用エアオペレートバルブ | LV |
フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング | LQ1 | |
フッ素樹脂製管継手フレアタイプ | LQ3 | |
ステンレスシリンダ | CJ5?S / CG5?S | |
フローティングジョイント(ステンレス) | JS | |
SUS316ワンタッチ管継手 | KQG | |
SUS316インサート管継手 | KFG | |
ステンレススピードコントローラ | ASG | |
FEPチューブ | TH / TIH | |
フッ素樹脂製チューブ | TL / TIL |
溶剤の移送
用途 | 品名 | シリーズ |
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防爆用機(jī)器 | 本質(zhì)安全防爆形5ポートソレノイドバルブ | 51-SY |
耐圧防爆形ソレノイドバルブ | 50-VFE / VPE | |
※5ポートソレノイドバルブ | SY | |
※5ポートソレノイドバルブ | VQC | |
ダイヤフラム式ポンプ | プロセスポンプ/フッ素樹脂タイプ | PA/PAP |
プロセスポンプ | PAF |
※防爆仕様ではありません。非防爆エリアにて使用してください。
調(diào)送液制御
用途 | 品名 | シリーズ |
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省配線システム | シリアル伝送システム | EX120 |
シリアル伝送システム | EX510 | |
SUPストップ弁付マニホールド | SS5Y□-X460 | |
防爆用機(jī)器 | 本質(zhì)安全防爆形5ポートソレノイドバルブ | 51-SY |
耐圧防爆形ソレノイドバルブ | 50-VFE/VPE |
選定のポイントと注意
?電磁弁を長(zhǎng)時(shí)間通電狀態(tài)で使用される場(chǎng)合は低消費(fèi)電力タイプの電磁弁をご使用ください。
?溶剤系雰囲気で使用される場(chǎng)合は、製品品質(zhì)に影響を及ぼす可能性がありますので、機(jī)器仕様、材質(zhì)にご注意ください。
?高溫、溶剤雰囲気等で使用される場(chǎng)合、製品仕様(使用溫度、材質(zhì)等)をご確認(rèn)のうえ選定ください。
?SUPストップ弁付マニホールドの使用により、ライン全體を停止をさせることなく部分的な機(jī)器の交換が可能であり、再稼動(dòng)のスピード化が図ることができます。
?防爆エリアでご使用の場(chǎng)合は防爆用機(jī)器をご選定ください。
?クリーン環(huán)境でご使用の場(chǎng)合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。
薬液の溫度/流量管理
用途 | 品名 | シリーズ |
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溫度コントロール | サーモチラー(スタンダードタイプ) | HRS |
サーモチラー 恒溫液循環(huán)裝置(高機(jī)能タイプ) | HRZ | |
フロースイッチ | PFM / PF2A / PF3A7□H / PF3W |
選定のポイントと注意
?ロール?溶剤を一定溫度にコントロールすることで安定した均一な塗布を可能にします。チラーにより高精度な溫調(diào)が可能です。
オゾン対策
用途 | 品名 | シリーズ |
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耐オゾン性向上 | オゾン対策機(jī)器 |
脫気処理
用途 | 品名 | シリーズ |
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高真空バルブ | ステンレス製高真空L型バルブ | XM |
ステンレス製高真空ストレート型バルブ | XY | |
常時(shí)閉型高真空電磁弁 | XSA |
クリーンルーム仕様
用途 | 品名 | シリーズ |
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クリーンルーム用 空気圧機(jī)器 |
クリーンシリーズ | クリーンシリーズ |
異物付著防止/品質(zhì)向上
用途 | 品名 | シリーズ |
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靜電気対策 | イオナイザ | IZS 40 / 41 / 42 |
クリーンブロー | クリーンエアモジュール | LLB |