●脫イオン水（純水）

不純物、イオン成分を除去した水のこと。パーティクルフィルタで不純物をろ過した後、さらにイオン交換樹脂でイオン分を除去することで得られる。理論上の比抵抗の限界値は18.3MΩ?cmであるが、実際にその數(shù)値までにすることは不可能なので1～10MΩ?cm程度の水を脫イオン水（純水）と呼ぶことが多い。

●タービンポンプ

→渦流ポンプ