●カルマン渦式
流れの中に棒狀の物體（渦発生體）を置くとその下流側(cè)に交互に渦が発生します。この渦はある條件では安定であり、その周波數(shù)は流速に比例し以下の式が成り立ちます。
f=k×v
f：渦の周波數(shù)、v：流速、k：比例定數(shù)（渦発生體の寸法、形狀などによって決まる）したがって、この周波數(shù)を検出することによって、流量を計(jì)測(cè)できます。
●空気用
適用流體：空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素
空気の品質(zhì)等級(jí)は、JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●水用
適用流體：水
水50%+エチレングリコール50%
●脫イオン水（純水）?薬液用
適用流體：脫イオン水（純水）
超純水
配管材を腐食させない流體
●熱式(MEMS方式)
メンブレン上に製作された白金薄膜によるヒータ(Rh)を中心に、対稱(chēng)に配置された上流測(cè)溫センサ(Ru)と、下流測(cè)溫センサ(Rd)および気體の測(cè)溫用として周?chē)鞙囟去互螗?Ra)から、本MEMSセンサチップは構(gòu)成されます。
原理は下図のとおり、RuとRdの抵抗値の差は、流れる気體の流速に比例するため、その抵抗値を測(cè)定し演算処理することにより、気體の流れ方向と流速を知ることができます。
Raは気體の溫度、または周?chē)鞙囟趣窝a(bǔ)償用として用いられます。
本フロースイッチの流量単位表示は、L/minを使用していますが、質(zhì)量流量を0℃, 101.3kPaと、20℃, 101.3kPa狀態(tài)の換算に切換えが可能です。
空気用
適用流體：空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素
空気の品質(zhì)等級(jí)は、JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●熱式(サーミスタ方式)
流路中に加熱したサーミスタを搭載し、そこに流體を流すと流體はサーミスタから熱を奪います。
サーミスタは熱を奪われることで抵抗値が上昇しますが、上昇率は流體の流速と一意的な関係があるので、この抵抗値を計(jì)測(cè)することによって流速を検出できます。さらに流體溫度や周?chē)鞙囟趣蜓a(bǔ)償するために溫度センサも內(nèi)蔵されていますので、使用溫度範(fàn)囲內(nèi)では安定した測(cè)定ができます。
本フロースイッチの流量単位表示は、L/minを使用していますが、質(zhì)量流量を0℃, 101.3kPaと、20℃, 101.3kPa狀態(tài)の換算に切換えが可能です。
