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テーマ?業(yè)種別カタログ
スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
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?長壽命：300萬回（常溫時）
?発塵量：1/5以下に低減（従來品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機構(gòu)採用
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2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
取扱説明書
シリーズ 検索結(jié)果を表示 XGTP 検索結(jié)果を表示
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
製品特長
長壽命：300 萬回（常溫時）
発塵量：1/5 以下に低減（従來品比）
平行シール構(gòu)造採用により低発塵、長壽命化
ゲート上昇?下降の直線動作とゲート開閉のクランプを平行にシールする構(gòu)造。
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
関連機器
