凹凸や表面に粘性のあるワーク（太陽電池セル）の
吸著搬送が可能。
| ?非接觸チャック | XT661 |
| ?ベルヌーイグリッパ | ZNC Series |
動作原理
供給ポートから導入されたエアが円筒部側(cè)面にあるノズルから噴き出され、円筒部內(nèi)部で旋回流となり真空を発生させます。（サイクロン効果）
供給エアは吸著面とワークの間から、大気に放出されます。その結(jié)果、サイクロンパッドとワークの間にエア層が発生し、非接觸での吊上げが可能になります。
薄膜用基板の「振動」「たわみ」を防止。
