|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
クリーンレギュレータ SRH
モジュラF.R.L./圧力制御機(jī)器 ? レギュレータクリーン/低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
ノングリース 窒素(N2)対応機(jī)器 ? 圧力制御機(jī)器
圧力制御機(jī)器 ? レギュレータ
-
?コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。
?禁油。
?2種類のダイヤフラム材質(zhì):PTFE、フッ素ゴム。
シリーズ | リリーフ機(jī)構(gòu) | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力(MPa) |
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SRH | ノンリリーフ | Rc1/8,1/4,3/8,1/2 9/16-18UNF,7/8-14UNF | 低圧タイプ:0.02~0.2 高圧タイプ:0.05~0.7 |
SRH | リリーフ | Rc1/8,1/4,3/8,1/2 | 低圧タイプ:0.02~0.2 高圧タイプ:0.05~0.7 |
精密クリーンレギュレータ SRP
モジュラF.R.L./圧力制御機(jī)器 ? レギュレータクリーン/低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
圧力制御機(jī)器 ? レギュレータ
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?高精度?低消費(fèi)流量のステンレスレギュレータ。
?ブリード量0.5L/min(ANR)以下(出口圧力:0.2MPa時(shí))
?設(shè)定感度:0.3%F.S.
?繰返し性:1%F.S.
シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力(MPa) |
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SRP | M5,1/8 | 低圧タイプ:0.005~0.2 高圧タイプ:0.01~0.4 |