|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
クリーンガスフィルタ SF
圧縮空気清浄化機(jī)器 ? 圧縮空気清浄化フィルタクリーン／低発塵 ? クリーンガスフィルタ?エアフィルタ
ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 圧縮空気清浄化フィルタ
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?エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100?200?300，SFB100)
?半導(dǎo)體プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300，SFC100)
| タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100?200?300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 120μm |
| ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
