産業(yè)用ロボット向機器
クリーンロボット低真空
真空レギュレータ IRV
真空用機器 ? 真空レギュレータモジュラF.R.L.／圧力制御機器 ? レギュレータ
圧力制御機器 ? レギュレータ
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?真空ラインの圧力制御が可能。
?一面配管仕様をシリーズ化。
?質量20％減（従來比）
?ワンタッチ管継手內蔵。
?クリップ固定式により圧力計?デジタル圧力スイッチの著脫が容易。
?圧力計?デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標準配管仕様のみ）
?圧力計?デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。
| シリーズ | 接続口徑 | 設定圧力範囲（kPa） |
|---|---|---|
| IRV10 | φ6，φ8，φ1/4，φ5/16 | －100～－1.3 |
| IRV20 | φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8 | －100～－1.3 |
