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對應300mm晶片的平行密封型縫閥 XGTP

高真空元件 ? 縫閥／門式閥
    ?長壽命：300萬次（常溫時）
    ?發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比）
    ?維護性提高
    　波紋管更換更容易
    　可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格）
    ?安全對策
    　采用機械式端鎖機構(gòu)
  • 對應300mm晶片的平行密封型縫閥 XGTP
    說明書
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系列使用壓力范圍（Pa）使用流體門尺寸
（高×寬）（mm）		動作壓力
（MPa）
XGTP大氣壓～10-6惰性氣體50×3360.45～0.6

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